賽微電子：代工MEMS微鏡，開辟汽車傳感新領域

   2022年4月，北京賽微電子股份有限公司（以下簡稱“公司”）控股子公司賽萊克斯微系統科技（北京）有限公司（以下簡稱“賽萊克斯北京”）與某國際知名激光雷達廠商及其子公司（以下簡稱“合作客戶”）簽署《戰略合作框架協議》，開展面向汽車雷達MEMS微鏡產品的長期戰略合作，各方將開展全面技術合作，賽萊克斯北京將依據合作客戶提供的工藝需求，致力于建立并維護MEMS微鏡產品的8英寸晶圓量產生產線，并按合作客戶產能需求提供配套的、穩定的產能。

MEMS微鏡結構示意

   MEMS微鏡（也被稱為“MEMS微振鏡”、“MEMS掃描鏡”）是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起的光學MEMS器件。MEMS微鏡的運動方式包括平動和扭轉兩種機械運動。近年來，隨著智能化、電動化、網聯化的加速發展，汽車傳感器市場持續擴大，且基于MEMS等半導體制造工藝生產的先進傳感器正在逐步替代部分傳統類型傳感器。以汽車自動駕駛功能為例，激光雷達是其中用到的眾多傳感器之一，按照激光掃描方式可以分為機械、混合和固態三種類型。隨著自動駕駛技術的不斷發展，小型化、低成本、高精度、固態化激光雷達逐漸出現并得到應用。MEMS激光雷達的核心光束操縱元件為MEMS微鏡，可通過半導體工藝進行集成化生產，極大地減少了激光雷達的體積且降低了成本，在車規級批量應用中存在優勢。

MEMS微鏡應用示意

   該合作客戶在智能激光雷達系統方面的技術及業務積累國際領先，相關產品已廣泛應用于機器人和汽車領域，且已進入車載前裝市場，涉及幾十余款車型。

   本次與該客戶的戰略合作，是賽微電子積極與全球各領域MEMS設計廠商開展合作的一個縮影，也是作為全球晶圓代工生產新勢力在長期發展過程中的必經階段，其中從工藝開發到產品驗證、批量生產均存在各種挑戰，需要合作各方的共同努力。

賽微電子全球業務布局

   賽微電子是全球領先、國際化運營的高端集成電路晶圓代工生產商，也是國內擁有自主知識產權和掌握核心半導體制造技術的特色工藝專業晶圓制造商。公司在國內外擁有多座中試平臺及量產工廠，業務遍及全球，服務客戶包括國際知名的DNA/RNA測序儀、光刻機、計算機網絡及系統、硅光子、紅外、可穿戴設備、新型醫療設備、汽車電子等巨頭廠商以及細分行業的領先企業，涉及產品范圍覆蓋了通訊、生物醫療、工業汽車、消費電子等諸多領域。公司同時正在打造先進的晶圓級封裝測試能力，致力于為客戶提供從工藝開發、晶圓制造到封裝測試的系統化高端制造服務，努力發展成一家國際化經營的知名半導體制造領軍企業。

   賽微電子正努力把核心主業傳感器和芯片工藝制造的業務范圍向汽車電子領域拓展，包括正在推進收購德國 Elmos Semiconductor SE位于德國北萊茵威斯特法倫州多特蒙德市（Dortmund, North Rhine Westphalia, Germany）的汽車芯片制造產線相關資產，該交易目前正在申請德國政府的批準。

   本次賽萊克斯北京與該合作客戶開展戰略合作，是賽微電子代工產業布局中的重要一步，有利于賽微電子積極把握全球半導體特色工藝制造產業，尤其是全球汽車芯片、MEMS芯片制造需求快速增長的發展機遇，從而促進核心業務的進一步發展。

賽萊克斯北京8英寸MEMS國際代工線

   賽萊克斯微系統科技（北京）有限公司成立于2015年12月，由賽微電子與國家集成電路產業基金共同出資建立，投資25.97億元在北京經濟技術開發區建設8英寸MEMS國際代工線，歷經數年準備后于2021年6月啟動正式生產，后持續推動MEMS硅麥克風、慣性器件、BAW（含FBAR）濾波器、振鏡、氣體、微流控、硅揚聲器等不同類別、不同型號產品的工藝開發及產品驗證。近年來，賽萊克斯北京持續吸引國內外的行業專家、技術人才，在不利的國際環境下，通過艱苦奮斗，打造了一支擁有自主知識產權和掌握MEMS核心技術的工藝團隊，為下游尤其是國內MEMS芯片設計公司提供業界領先、自主可控的晶圓制造平臺，目標是通過長期努力，致力解決本土MEMS產業鏈中的關鍵環節。